我相信任何企業(yè)都非常關(guān)心潔凈室的能耗。上海鴻潔源凈化通過十余年的凈化設(shè)計和施工經(jīng)驗，對半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)外的能源負荷進行了說明，并對半導(dǎo)體潔凈室可能的節(jié)能方法進行了逐一詳細的說明。

A.室內(nèi)負荷：

(a)人員(顯熱=6千卡/小時，潛熱=5千卡/小時)

(b)照明：30W/(在黃燈區(qū)，這個值應(yīng)該大1.5倍左右)

(c)機器負荷：輸入功率x負荷系數(shù)冷卻循環(huán)水負荷=循環(huán)水流量x水溫差(此處溫差在5左右)排氣負荷=排氣量x排氣溫差，此處排氣溫差可分為三類：1 .酸氣、有機氣或緊急排氣的排氣溫差一般為5，2。不可燃氣體的排氣溫差約為10，3。產(chǎn)生高溫的機器的排氣裝置的排氣溫差在20左右。

(d)鼓風(fēng)機熱負荷：輸入功率x負荷系數(shù)。

B.室外負載：

室外空氣輸入x室內(nèi)外空氣的焓差，其中室外空氣輸入包括排氣量加上換氣和維持正壓所需的人員數(shù)量。在分析半導(dǎo)體潔凈室的能耗時，我們必須明白，一般的工作區(qū)分為1個制造區(qū)，即fab區(qū)，2個組裝區(qū)和測試區(qū)。通常每個區(qū)的潔凈度和要求水平會有所不同，潔凈室的結(jié)構(gòu)也會有所不同。如圖所示，A.H.U系統(tǒng)通常與作為裝配區(qū)或測試區(qū)的紊流潔凈室配合使用。如果潔凈室的設(shè)計采用湍流式，吊頂內(nèi)不要充滿過濾器，過濾器的面積與吊頂面積的比值必須達到一定值，才能保證潔凈度。而且，由于氣流分布的關(guān)系，通常在過濾器的出口處安裝擴散器，以加強過濾器出口空氣的擴散面積。對于工廠區(qū)域，目前有三種常見的潔凈室設(shè)置，即開放式隔間系統(tǒng)、風(fēng)扇過濾單元系統(tǒng)和風(fēng)扇模塊系統(tǒng)。它們的原理圖分別如圖2、3和4所示。通常在選擇FAB區(qū)域的潔凈室類型時，必須考慮生產(chǎn)、維護、使用壽命和初投資能耗等因素，進行綜合考慮。以上三種類型各有利弊，選擇必須多方考慮。目前最佳方案的確定尚無定論，仍需研究。目前，普遍認為風(fēng)機-過濾單元系統(tǒng)和風(fēng)機-模塊系統(tǒng)比開間系統(tǒng)具有更大的節(jié)能空間。

就半導(dǎo)體潔凈室的負荷特性而言，無論上述三個FAB區(qū)的潔凈室類型如何，暖通空調(diào)的熱負荷都遠高于普通建筑。其中，建筑物的穿透負荷、人員和燈光負荷與普通辦公室相差不大，但室外空氣負荷、機器負荷和風(fēng)機負荷占全部暖通負荷的90%以上，其中室外空氣負荷實際占45 ~ 45%。